產(chǎn)品分類
日本ULVAC愛發(fā)科 真空鐘擺閥 VFR-400 ULVAC的VFR系列大型擺錘閥（閘閥）采用獨(dú)特技術(shù)設(shè)計(jì)緊湊。應(yīng)用包括OLED、光伏、玻璃、平板顯示和其他制造系統(tǒng)。
日本ULVAC愛發(fā)科真空角閥 VLB-SA016KF ULVAC的真空閥門是基于在真空領(lǐng)域豐富的技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)開發(fā)的。 我們提供各種產(chǎn)品，以滿足從大氣壓到超高真空的廣泛需求。
日本ULVAC愛發(fā)科真空角閥 VLP-SA020JH ULVAC的真空閥門是基于在真空領(lǐng)域豐富的技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)開發(fā)的。 我們提供各種產(chǎn)品，以滿足從大氣壓到超高真空的廣泛需求。
日本ULVAC愛發(fā)科泄漏檢測器HELIOT901W1是我們的氦氣泄漏檢測儀，具有高速抽氣能力、用戶友好型操作，并在各種泄漏檢測情況下保證性能。
日本ULVAC愛發(fā)科CVD蝕刻Qulee RGM2-201FQulee RGM2-201 F 反應(yīng)氣體監(jiān)測器是一款帶有差動排氣系統(tǒng)的工藝監(jiān)測器，支持蝕刻、CVD 和 ALD 設(shè)備的反應(yīng)氣體。具有獨(dú)特的離子源和 Alvac 獨(dú)特的排氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，它對反應(yīng)氣體具有優(yōu)異的耐腐蝕性，并且可以長時間穩(wěn)定測量。
日本ULVAC愛發(fā)科氣體分析儀Qulee HGM2-202ULVAC 的新型“型號：Qulee HGM2”殘余氣體分析儀，具有很高的易用性。 所有型號中具有最高的靈敏度，2.5 × 10-6A/Pa，Qulee HGM2。 可以滿足各種研發(fā)和其他真空系統(tǒng)過程監(jiān)測的需求。
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